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Rishige RSG2000单频射频电源
2024/1/24
- 名称：Rishige RSG2000单频射频电源
- 型号：RSG2000
- 品牌：Rishige
- 描述：全固态射频源系列产品广泛应用于大学实验室，医疗设备、工业材料加工设备（如射频溅射、刻蚀、平行板、射频...
Rishige RSG2000单频射频电源
全固态射频源系列产品广泛应用于大学实验室，医疗设备、工业材料加工设备（如射频溅射、刻蚀、平行板、射频激光、ICP、RIE、CVD和PVD)，同时也应用在感应和介质加热的工业领域。用户可根据不同功率（50瓦，*瓦，200瓦，500瓦，1KW，2KW，3.5KW，6KW，10KW，12.5KW）、不同射频频率（13.56MHz /27.12MHz /40.68MHz / 60MHz/ 81.36MHz/ *MHz) 及脉冲频率（0～*KHz）选用相应的机型。我们也欢迎用户根据自己的特殊需要来洽谈，为其系统订做专用频率和功率的全固态射频电源。
Rishige RSG2000单频射频电源特点
| 输出功率： | 额定功率1 ~ *% ，连续可调，正反向功率VFD显示 |
| 功率稳定度： | ≤ ±0.5％(额定功率输出时) |
| 频率稳定度： | ≤ ±0.005% |
| 功率响应时间： | 额定输出启动 ＜ 10ms |
| 频率信号： | 标准正弦波，进口石英晶振激励 |
| 信号频率： | 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/81.36MHz/*MHz（或其它工业频率） |
| 信号输出形式： |
连续波；矩形方波（由加脉冲调制器调制成方波，脉冲宽度10微秒到连续波，占空比可用户定义，方波上升沿和下降沿不大于3微秒） |
| 输出阻抗： | 50Ω |
| 承受驻波比： | VSWR ≤ 2.0 |
| 谐波输出： | 二次谐波低于 -50dB，三次及更高次谐波低于 -55dB |
| 供电电压： | AC220V±15％供电或AC380V±15％三相供电，50/60Hz 直流供电为外置独立模块 |
| 整机效率: | ≥ 65％（2000W输出时） |
| 冷却方式： | 水冷（外接1公斤水压） |
| 环境温度： | 0 ~ 40℃ |
| 相对湿度： | < 85% |
| 控制接口： | 模拟接口，或采用RS485、RS232 通讯协议 |
| 输出接口： | 标准同轴接头输出，阴性 |
| 长寿命: |
核心部件进口晶体管，每天24小时连续工作可使用30年。 |
| 重量: | 21.5kg |
| 操控模式 | |
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产品采用面板手动操控方式和远程计算机模拟及通讯操控方式，液晶面板显示各项数值，既适合大学实验室、科研院所研发使用，也适合自动化生产线闭环控制使用。 |
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| 射频电源保护 | |
| 1.过热保护 2.驻波保护 3.过压保护 4.过流保护 | |
Rishige RSG2000单频射频电源选型
可提供如下射频频率产品：
13.56MHz
27.12MHz
40.68MHz
81.36MHz
*MHz（或其它工业频率）
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