NanoCalc 薄膜反射测量系统

      薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。

     常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。

技术参数

产品特点

• 可分析单层或多层薄膜
• 分辨率达0.1nm
• 适合于在线监测
• 操作理论

查找n和k值

      可以进行多达三层的薄膜测量，薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库，用户也可以自己添加和编辑。

应用

      NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量，包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。

NC-UV-VIS-NIR      波长范围：250-1* nm；厚度：10 nm-70 µm；光源：氘卤灯

NC-UV-VIS           波长范围：250-850 nm；厚度：10 nm-20 µm；光源：氘卤灯

NC-VIS-NIR          波长范围：400-1* nm；厚度：20 nm-* µm(可选1µm-250µm)；光源：卤灯

NC-VIS                波长范围：400-850 nm；厚度：50 nm-20 µm；光源：卤灯

NC-NIR                波长范围：650-1* nm；厚度：70 nm-70 µm；光源：卤灯

NC-NIR-HR           波长范围：650-1* nm；厚度：70 nm-70 µm；光源：卤灯